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科氏力氣體質量流量控制器

簡要(yao)描(miao)述:科氏力氣(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)器用于對(dui)氣(qi)體的(de)質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)進行精密測(ce)量(liang)(liang)和(he)控(kong)制(zhi)。在(zai)半導(dao)體和(he)集成電路工(gong)業、特種(zhong)材料學科、化學工(gong)業、石油(you)工(gong)業、醫(yi)藥、環保和(he)真空燈多種(zhong)領域的(de)科研和(he)生產中(zhong)有著重要的(de)作用。應用場合包括:電子工(gong)藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離(li)子刻(ke)蝕、濺(jian)射、離(li)子注入;以(yi)及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣(qi)配氣(qi)系統、毛細管測(ce)量(liang)(liang)、氣(qi)相色譜儀(yi)(yi)及其他分析儀(yi)(yi)器。

  • 產品(pin)型號:
  • 廠(chang)商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-12-25
  • 訪  問  量:845

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
產品種類其他介質分類氣體
產地類別進口應用領域化工,石油,能源,綜合

科氏力氣體質量流量控制器概述:

◆管狀分流,不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短,零漂小,可靠性高
◆數字量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量


基(ji)本原(yuan)理為:一根兩端固定(ding)的(de)(de)薄壁測(ce)量(liang)(liang)(liang)管(guan),在中點(dian)處以測(ce)量(liang)(liang)(liang)管(guan)諧振或(huo)接(jie)近諧振的(de)(de)頻(pin)率(或(huo)其(qi)高次(ci)諧波(bo)頻(pin)率)所激勵(li),此(ci)時,在管(guan)內流(liu)(liu)動(dong)的(de)(de)流(liu)(liu)體(ti)產(chan)生科里奧(ao)利力,使測(ce)量(liang)(liang)(liang)管(guan)中點(dian)前(qian)后產(chan)生方向(xiang)相(xiang)反的(de)(de)撓(nao)(nao)曲(qu)(qu),撓(nao)(nao)曲(qu)(qu)的(de)(de)大(da)小與流(liu)(liu)體(ti)的(de)(de)質量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)成正(zheng)比。因此(ci),用光學或(huo)電(dian)磁學的(de)(de)方法檢(jian)測(ce)測(ce)量(liang)(liang)(liang)管(guan)的(de)(de)撓(nao)(nao)曲(qu)(qu)量(liang)(liang)(liang),就可以求得管(guan)內流(liu)(liu)體(ti)的(de)(de)質量(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)。



應用行業

玻璃行業太陽能大氣監測工業制作石油石化
煤炭冶金制氣配氣環保各種儀器分析


科氏力氣體質量流量控制器參數:

量程范圍100SCCM~30SLM
測控范圍量程比50:1
準確度±1.0%F.S
線性±0.5%F.S
重復精度±0.2%F.S
響應時間<2s
數字量RS232/485,MODBUS協議
模擬量0~5V、4-20mA、1~5V
供電±15VDC,24VDC
工作溫度0~50℃
工作壓力工作壓差:0.05~0.5Mpa
最大耐壓3MPa/10MPa
電氣連接DB15孔
漏率1×10-9SCCSHe
溫度系數±0.025%F.S/℃
底座材質不銹鋼(gang)
密封材質氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠
接頭φ3,φ6,1/8",1/4"


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