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科氏力氣體質量流量控制器

簡要描述(shu):科氏力(li)氣(qi)(qi)體(ti)質量(liang)流量(liang)控制器用(yong)于(yu)對氣(qi)(qi)體(ti)的(de)質量(liang)流量(liang)進行(xing)精密測(ce)量(liang)和(he)(he)(he)控制。在(zai)半導(dao)體(ti)和(he)(he)(he)集成電路(lu)工業、特種(zhong)材料(liao)學(xue)科、化學(xue)工業、石油工業、醫藥、環保(bao)和(he)(he)(he)真空燈多種(zhong)領域的(de)科研和(he)(he)(he)生產(chan)中有著重要的(de)作(zuo)用(yong)。應用(yong)場合(he)包括(kuo):電子(zi)工藝設備,如(ru)擴散、外延、CVD、氧化、等(deng)離(li)(li)子(zi)刻蝕、濺(jian)射、離(li)(li)子(zi)注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣(qi)(qi)配氣(qi)(qi)系統、毛細管測(ce)量(liang)、氣(qi)(qi)相色譜儀及其他分析儀器。

  • 產(chan)品型號:
  • 廠商性質(zhi):生產廠家
  • 更新時間:2023-06-25
  • 訪  問  量:1130

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
產品種類其他介質分類氣體
產地類別進口應用領域化工,石油,能源,綜合

科氏力氣體質量流量控制器概述:

◆管狀分流,不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短,零漂小,可靠性高
◆數字量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量


基(ji)本原(yuan)理(li)為:一根兩端固定(ding)的(de)薄壁測(ce)量管,在(zai)中(zhong)點(dian)(dian)處以測(ce)量管諧振或(huo)接(jie)近諧振的(de)頻率(或(huo)其高次諧波頻率)所激勵(li),此時,在(zai)管內流(liu)(liu)(liu)動的(de)流(liu)(liu)(liu)體產生科(ke)里奧利力,使(shi)測(ce)量管中(zhong)點(dian)(dian)前后產生方(fang)向相反的(de)撓曲,撓曲的(de)大小與(yu)流(liu)(liu)(liu)體的(de)質量流(liu)(liu)(liu)量成正比。因此,用(yong)光學或(huo)電磁學的(de)方(fang)法檢測(ce)測(ce)量管的(de)撓曲量,就(jiu)可以求得管內流(liu)(liu)(liu)體的(de)質量流(liu)(liu)(liu)量。



應用行業

玻璃行業太陽能大氣監測工業制作石油石化
煤炭冶金制氣配氣環保各種儀器分析


科氏力氣體質量流量控制器參數:

量程范圍100SCCM~30SLM
測控范圍量程比50:1
準確度±1.0%F.S
線性±0.5%F.S
重復精度±0.2%F.S
響應時間<2s
數字量RS232/485,MODBUS協議
模擬量0~5V、4-20mA、1~5V
供電±15VDC,24VDC
工作溫度0~50℃
工作壓力工作壓差:0.05~0.5Mpa
最大耐壓3MPa/10MPa
電氣連接DB15孔
漏率1×10-9SCCSHe
溫度系數±0.025%F.S/℃
底座材質不銹鋼
密封材質氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠
接頭φ3,φ6,1/8",1/4"


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