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格里爾斯質量流量控制器

簡要描述：格里爾斯質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

產品型號：GRYLLS5900
廠商性質：生產廠家
更新時間：2022-12-25
訪問量：3253

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詳細介紹

品牌	GRYLLS/格里爾斯	價格區間	面議
產品種類	差壓式	介質分類	氣體&液體
產地類別	進口	應用領域	環保,化工,石油,電子,綜合

　格里爾斯質量流量控制器工作原理：

　　氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司特別的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。

注意:

　　質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣標定.

　　質量流量的單位規定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)

　　標準狀態規定為: 溫度-----273.15K (0℃);

　　氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）

　格里爾斯質量流量控制器主要技術指標

1	量程范圍	（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM 　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM
2	準確度	±1%F.S ±0.5%F.S
3	線性	±0.5~1.5%F.S
4	重復精度	±0.2%F.S
5	響應時間	電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
6	工作壓差	0.1~0.5MPa
7	耐壓	3MPa
8	工作環境溫度	0~70℃
9	數字量	RS485 MODBUS協議
10	模擬量	DC 0~5V ，4~20mA 可選
11	供電	DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
12	電氣連接	DB15
13	漏率	1×10\u001F-8SCCSHe
14	底座材質	316L不銹鋼
15	密封材質	氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
16	氣路接頭	Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

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