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科里奧利質量流量控制器

簡要描述:科里奧利質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-12-25
  • 訪  問  量:648

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
產品種類差壓式介質分類氣體&液體
產地類別國產應用領域石油,能源,電子,電氣,綜合

科里奧利質量流量控制器其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

  • 在大多數流量儀表上0.6%的讀數精度

  • 4 ms響應時間

  • 無需預熱

  • 四個過程變量

  • 內置的顯示

  • 工業協議

  • 壓力補償

  • 溫度補償

  • 寬動態流量范圍


科里奧利質量流量控制器技術參數:

1

  量程范圍

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

  2

  準確度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  3

  線性

  ±0.5~1.5%F.S

  4

  重復精度

  ±0.2%F.S

  5

  響應時間

  電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

  6

  工作壓差

  0.1~0.5MPa

  7

  耐壓

  3MPa

  8

  工作環境溫度

  0~70℃

  9

  數字量

  RS485 MODBUS協議

  10

  模擬量

  DC 0~5V ,4~20mA 可選

  11

  供電

  DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA

  12

  電氣連接

  DB15


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