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差壓式氣體質量流量計

簡要描述:差壓式氣體質量流量計5910DD4用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。

  • 產品型號:5910DD4
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-12-25
  • 訪  問  量:732

詳細介紹

品牌GRYLLS/格里爾斯價格區間面議
產品種類差壓式介質分類液體
產地類別國產應用領域環保,化工,能源,電子

差壓式氣體質量流量計5910DD4用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。

其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

黑龍江差壓式氣體質量流量計5910DD4產品參數:

量程范圍

0.2~5kg/h

測控范圍

流量計量程比100:1     控制器量程比50:1

準確度(滿量程)

氣體:±0.5.0%F.S、液體±0.25.0%F.S

穩定性

±0.1%F.S

重復精度

±0.05%F.S

響應時間

<0.2s

數字量

RS232/485,MODBUS協議

模擬量

0~5V、4-20mA、1~5V

供電

±15VDC,24VDC

工作溫度

0~70℃

壓力等級

100bar

最大耐壓

3MPa/10MPa




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