產品性能參數

5900熱式質量流量控制器

精度（調零后標準條件下）

± 1%Full Scale

高精度選項（調零后標準條件下）

±0.5%Full Scale
高精度選項僅適用于5sccm-3000slm量程區間

重復性

± 0.2%Full Scale

零點漂移和滿量程漂移

0.2%Full Scale / oCelsius / Atm

工作范圍和量程比

2% to 100% Full Scale / 50:1 (100:1 optional)

最大可控流量

100% Full Scale

最大可測流量

100% Full Scale

典型響應時間

<1000 ms

泄露率

1×10-9 atm ·cc/s He

運行工況

Grylls5900系列熱式質量流量控制器

標準工況(STP)

25oC & 14.696 psia (standard — others available on request)

工作溫度

0 to +50 oCelsius

工作濕度范圍（不冷凝）

0 to 90%

最大耐壓 (靜壓)

145 psi(g)/10bar(g) optional:435psi(g)/30bar(g)Max1450psi(g)/100bar(g)

工作壓差 (入口到出口)

Under 500slm:72.5psi(d)/5bar(d);Above 500slm:145psi(d)/10bar(d)

對安裝方向的要求

Full Scale:None

閥門類型

Normally Closed

防護等級

IP40(IP65 optional)

接觸介質的材質

316L 、417J1 不銹鋼、氟橡膠、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、硅、玻璃等。
          如果您應用的介質需要不同的材料，請聯系Grylls。

通訊和供電

Grylls5900系列熱式質量流量控制器

顯示屏幕和多功能按鍵

顯示質量流量、累計流量，氣體系數切換等功能

數字通信選項1

RS-232 Serial / RS-485 Serial / Modbus RTU / PROFIBUS / EtherNet/IP
/ DeviceNet / Modbus TCP/IP / EtherCAT / PROFIBUS-DP

模擬通信選項2

0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA

第二通道模擬通信選項2

0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA

電氣接口選項

9-pin D-sub (DB9M) / 15-pin D-sub (DB15M) / RJ11

供電電壓

24 Vdc / ±15Vdc

供電電流

under 500slm: 0.50 Amp; above 500slm：1 .0Amp

1. 數字輸出信號可通訊質量流量、累計流量、流量大小調節等功能。
2. 模擬輸出信號和可選的第二通道模擬輸出信號可選擇傳輸瞬時流量。