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GRYLLS 6600 差壓式氣體質量流量控制器產品PDF資料

發布時間:2022/6/28      點擊次數:618

Grylls6600差壓(ya)式質量(liang)流量(liang)控制(zhi)器 參數0.5sccm – 6000 slm 全量程 Grylls6600差(cha)壓式質量流量控(kong)制器采用無(wu)熱漂移,無(wu)響應滯后的(de)(de)差壓(ya)質量(liang)測量(liang)原理,無(wu)熱漂移,可(ke)以(yi)忽略的(de)(de)溫移和(he)時漂,長期穩定(ding)性0.1%F.S/年(nian),準(zhun)確度(du)(du)1.0%,量(liang)程可(ke)在100:1范圍內按鍵設定(ding),無(wu)需(xu)標定(ding),可(ke)以(yi)同時顯示和(he)輸出(chu):瞬時 流量(liang)、累計流量(liang)、壓(ya)力、溫度(du)(du)等。當需(xu)要控(kong)制功能時,還可(ke)以(yi)加(jia)裝電磁(ci)比例調(diao)節(jie)閥和(he)內置PID 調(diao)節(jie)功能。

Grylls6600差(cha)壓式質量流量控制器與熱式流量計不同,當使用氣體轉換系數時,Grylls6600差壓式質量流量控制器沒有附加的“比熱容"誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。


標準參(can)數(有(you)關選配項,請聯系Grylls)

產品性(xing)能參數

Grylls6600系列差壓式質量流量控制器

精度(調零(ling)后標(biao)準條件下)

± 1%Full Scale

傳感器響應(ying)時間

<1 ms

重復性

± 0.2%Full Scale

零點漂移和滿量程漂移

0.2%Full Scale /   oCelsius / Atm

工作(zuo)范圍和量(liang)程(cheng)比(bi)

2% to 100% Full   Scale / 50:1 (100:1 optional)

最大可(ke)控流量

100% Full Scale

最大可測流量

100% Full Scale

典型響應時間

<100 ms

壓力精(jing)度(大(da)于1大(da)氣(qi)壓時)

±0.6% of reading

壓力精(jing)度(小于(yu)1大氣壓時)

±0.1 PSIA

溫(wen)度精(jing)度

±0.75°C








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