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GRYLLS 6600 差壓式氣體質量流量控制器產品PDF資料

發布時間:2022/6/28      點擊次數:869

Grylls6600差壓(ya)式(shi)質量流量控制器 參(can)數0.5sccm – 6000 slm 全(quan)量程 Grylls6600差壓(ya)式質量流量控制(zhi)器采用(yong)無(wu)(wu)熱漂(piao)移(yi),無(wu)(wu)響(xiang)應滯后的(de)差壓質量測(ce)量原理,無(wu)(wu)熱漂(piao)移(yi),可以忽略的(de)溫移(yi)和(he)(he)時漂(piao),長(chang)期穩定性0.1%F.S/年(nian),準確度1.0%,量程可在(zai)100:1范(fan)圍(wei)內按鍵(jian)設定,無(wu)(wu)需標定,可以同時顯示和(he)(he)輸出:瞬時 流量、累計(ji)流量、壓力、溫度等。當需要(yao)控(kong)制功(gong)能時,還可以加裝電磁比(bi)例(li)調(diao)節閥和(he)(he)內置PID 調(diao)節功(gong)能。

Grylls6600差壓式質量流(liu)量控(kong)制器與熱式流量計不同,當使用氣體轉換系數時,Grylls6600差壓式質量流量控制器沒有附加的“比熱容"誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。


標(biao)準參(can)數(有(you)關選配項,請聯(lian)系(xi)Grylls)

產品(pin)性能參數(shu)

Grylls6600系列差壓式質量流量控制器

精度(調零后標準(zhun)條件下)

± 1%Full Scale

傳感器響(xiang)應時間

<1 ms

重復性

± 0.2%Full Scale

零點漂移(yi)和(he)滿量(liang)程(cheng)漂移(yi)

0.2%Full Scale /   oCelsius / Atm

工作范(fan)圍和量程比

2% to 100% Full &nbsp; Scale / 50:1 (100:1 optional)

最大可(ke)控流(liu)量

100% Full Scale

最大(da)可測流量

100% Full Scale

典型響應時間

<100 ms

壓力精度(大于1大氣壓時(shi))

±0.6% of reading

壓力精度(小于1大氣壓時)

±0.1 PSIA

溫度(du)精度(du)

±0.75°C








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