氣體流量控制器主要用于對于氣體的質量流量進行精密測量和控制，采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)，將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
氣體流量控制器使用注意事項：
1、安裝控制器首先是要考慮到的因素是其所在的環境，要盡量避開有振動的地方，并且要在安裝的時候做好牢固的支撐，如果沒有辦法避免一定要安裝在震動源的附近，可以選擇有*的氣體質量流量控制器或使用軟管去連接。
2、安裝氣體質量流量控制器的流量控制閥的時候，因為其屬于節流裝置，所以流量控制閥應該安裝在設備的出口處。并且在氣體質量流量控制器的出口和入口安裝截止閥，初次安裝時需要進行零點校準。安裝時要確保箭頭方向以及流體的流向要保持一致。
3、氣體質量流量控制器安裝的位置需要遠離泵出口，是為了防止由于過近而引起的氣體質量流量控制器測量值的波動，注意保溫殼體或是伴熱管是不能直接與傳感器殼接觸的，如接觸了可能會造成數據的污染。
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